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HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺

產(chǎn)品簡介

HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺系列是可從外部移動 探針進(jìn)行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、 探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個 可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié) 霜，或高溫下氧化。

產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-04-29
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：46
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產(chǎn)品簡介

HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺系列是可從外部移動 探針進(jìn)行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、 探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個 可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié) 霜，或高溫下氧化。

 

功能特點
mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備
可編程控溫，涵蓋-190℃~400℃
適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用
獨立的四個探針，可從設(shè)備外部移動探針進(jìn)行點針,
模塊化設(shè)計，可自由組合
*可升級為 8 個獨立探針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK
SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC 四探針，手動點針
*可選三同軸接口，用于 pA 級測試
*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍  -190℃~400℃（負(fù)溫需配液氮制冷）
加熱塊材質(zhì)  銀
傳感器/溫控方式  最大升溫速率
100Ω鉑 RTD / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）
30℃/min
最小溫控速度  ±0.01℃/min
溫度分辨率  0.01℃ RTD 傳感器
溫度穩(wěn)定性  ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
軟件功能  可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線
 
光學(xué)參數(shù)
適用光路  反射光路
窗片  可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離  8/12 mm （可選） *截面圖中 WD
上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±50° *截面圖中θ 1
負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路

 

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品  26 mm 直徑 （標(biāo)準(zhǔn)）
樣品腔高  4/8 mm （可選）
探針座  可從外部 XYZ 移動的探針臂 粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY 粗調(diào) 20mm XY 微調(diào)行程 10mm,Z 微調(diào) 3mm
調(diào)節(jié)精度  10um
氣氛控制  真空腔，也可充入保護(hù)氣體
外殼冷卻  可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量  300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

 

配置列表
基本配置  真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器
可選配件  安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、 防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸 BNC、臺面電懸空、 樣品接電引線


以上是HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺的詳細(xì)介紹

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